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● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數可控：質量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度：可優于0.5 %讀數
● 量程可控比寬，0.5~100 %滿量程
● 滿量程超低壓損最低為480 Pa
● 閥門響應時間快，優于100 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃溫差
± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差
介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 : 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表；一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程：從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比：0.5～100%滿量程
最大顯示流量：128 %滿量程
最大可控流量：102.4 % 滿量程
顯 示 屏：帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度：±（0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程） 精度升級部分見左下角
±（0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度：流量精度之外增加±0.5%讀數誤差
重 復 性：±（0.2 %讀數+0.02 %滿量程）
質量流量溫度零點和滿量程漂移：0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質量流量壓力零點和滿量程漂移：±（0.08 % 讀數+ 0.02 % 滿量程）/ Atm
（從校準壓力開始）
控制響應時間（T63，用戶可調）：小閥門：30 ms；R閥門：150 ms
顯示響應時間：127 ms（用戶可調）
預熱時間：＜ 1 s
默認標況（STP）：25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
閥門功能：常閉型
工作溫度：-10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度：± 0.75 ℃
工作濕度：0 ～ 95 %，無冷凝
最大工作壓力：0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa
最低操作壓力：如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度：± 0.75 %讀數（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損：參考詳細壓損表
數據刷新頻率： 數字信號40 Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率：10 Hz
數字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模擬輸入/輸出信號：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出：質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度：在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓：12 - 30 VDC
供電電流：250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（4-20 mA）
電氣接口：DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏）：選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質：302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環氧樹脂、玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金、R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼
過程連接：詳情參考壓損表
安裝位置：小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護等級：IP40
認 證：ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
● 低溫容器檢測
● 大學/研究所
● 泄漏檢測
● 環境監測
● 汽車制造
● 過程工藝氣體測量
