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F-201CV系列流量控制器
EL-FLOW? Select 系列質量流量計/控制器,擁有專門為‘實驗室應用所設計的PC板模塊化結構。控制閥可以是一體的,也可以是分體的。可測量和控制的氣體流量范圍: 最低流量可達0,014...0,7 mln/min 最高流量可達 8...1670 ln/min
該款質量流量控制器的控制閥是模塊化結構,用戶可以在設備安裝現場不做任何調整即可更換。標準通用的閥門是常關閥,Kv值可高達1.5 ,也可根據客戶的要求提供常開閥的產品。
特點

高精確度 (標準 0,5% Rd + 0,1% FS)

在數字模式下的最大量程比可達 1:187,5

反應靈敏(最低為200 msec),重復性能好

可選配 ‘多氣體‘/’多范圍‘:可自由編程流量范圍和氣體類型

壓力等級64/100bar (10bar以下可選配多介質/多量程功能)

可選高壓版本

模擬 I/O-信號, RS232-連接; 可選的板載總線接口

所有的表面都經過了電化學拋光處理

緊湊,模塊式結構

可選配金屬密封和/或者上下連接式結構

應用領域

分析/環保設備

在食品,化學和石化行業中氣體流量的監控

氣體消耗監測和核算

通過相應對象來檢測氣體的泄漏情況

半導體制造業

表面處理裝置

可測量范圍

質量流量控制器(滿量程,N2當量)

PN64PN 100 barPN 200 barPN 400 bar
F-200CV  |  0.7 … 9 mln/minF-210CV  |  0.7 … 9 mln/minF-220M  |  10 … 15 mln/minF-230M  |  10 … 500 mln/min
F-201CV  |  0.008 … 25 ln/minF-211CV  |   0.008 … 25 ln/minF-221M  |  0.015 … 20 ln/minF-231M  |  0.5 … 10 ln/min
F-201AV  |  20 … 100 ln/minF-211AV  |  20 … 100 ln/minF-221M  |  0.015 … 20 ln/minF-231M  |  0.5 … 10 ln/min
F-202AV  |  40 … 250 ln/minF-212AV  |  40 … 250 ln/min
F-232M  |  10 … 100 ln/min
F-203AV  |  200 … 1670 ln/minF-213AV  |  200 … 1670 ln/min


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