高精確度 (標準 0,5% Rd + 0,1% FS)
在數字模式下的最大量程比可達 1:187,5
反應靈敏(最低為200 msec),重復性能好
可選配 ‘多氣體‘/’多范圍‘:可自由編程流量范圍和氣體類型
壓力等級64/100bar (10bar以下可選配多介質/多量程功能)
可選高壓版本
模擬 I/O-信號, RS232-連接; 可選的板載總線接口
所有的表面都經過了電化學拋光處理
緊湊,模塊式結構
可選配金屬密封和/或者上下連接式結構
分析/環保設備
在食品,化學和石化行業中氣體流量的監控
氣體消耗監測和核算
通過相應對象來檢測氣體的泄漏情況
半導體制造業
表面處理裝置
質量流量控制器(滿量程,N2當量)
PN64 | PN 100 bar | PN 200 bar | PN 400 bar |
---|---|---|---|
F-200CV | 0.7 … 9 mln/min | F-210CV | 0.7 … 9 mln/min | F-220M | 10 … 15 mln/min | F-230M | 10 … 500 mln/min |
F-201CV | 0.008 … 25 ln/min | F-211CV | 0.008 … 25 ln/min | F-221M | 0.015 … 20 ln/min | F-231M | 0.5 … 10 ln/min |
F-201AV | 20 … 100 ln/min | F-211AV | 20 … 100 ln/min | F-221M | 0.015 … 20 ln/min | F-231M | 0.5 … 10 ln/min |
F-202AV | 40 … 250 ln/min | F-212AV | 40 … 250 ln/min | F-232M | 10 … 100 ln/min | |
F-203AV | 200 … 1670 ln/min | F-213AV | 200 … 1670 ln/min |