廢氣焚燒爐是利用輔助燃料燃燒所發生熱量，把可燃的有害氣體的溫度提高到反應溫度，從而發生氧化分解的設備。廢氣焚燒爐有“直燃式”和“蓄熱式”。 “直燃式”和“蓄熱式”的原理是相同的，其差異只是爐膛中有否蓄熱材料的區分。廢氣焚燒爐適用于待排廢氣中具有一定有機成分濃度的廢氣處理及凈化。對有機廢氣中含水溶性或粘性物質及高分子物質的氣體凈化更顯示出其優點。滿足環保和勞動保護要求，同時增加換熱設備，達到余熱回用、節省能源的目的。

直燃式焚燒爐是一個內壁襯有耐火材料的爐子，四周設計有補氧風孔，與待燒廢氣充分混合并提供廢氣燃燒分解所需要的氧氣。輔助燃料先將爐溫燒至760℃以上，廢氣經過爐膛迅速發生氧化反應，并放出熱量繼續維持爐膛溫度。焚燒過程須保證爐膛維持一定的燃燒分解溫度，讓廢氣在爐內能停留一定的時間，并讓廢氣與補氧風在爐內充分攪拌混合均勻。廢氣經過渦流得以充分燃燒凈化后，再經噴淋吸收塔去除煙氣中的有毒有害成分，最后經煙囪排入大氣中。

焚燒爐結構一般有爐體不動的箱式結構，以及爐體旋轉式回轉結構。箱式結構一般處理廢氣，回轉爐體還可以綜合處理廢氣、廢液以及固廢等，使用廢氣焚燒爐可以針對不同類型的廢物進行有效處理。焚燒設備的適用性比較強，在安裝使用的過程中沒有太多的限制。在通過廢氣焚燒設備對廢棄物進行處理階段，對于廢棄物的形狀和狀態沒有嚴格的要求，而且也不需要達到一定的含水率，所以現在制作推出的廢氣焚燒設備和傳統的設備產品相比，在應用方面更加便捷。

蓄熱式焚燒爐，通過合理的結構分區及流體路徑換向，并在每個分內布置多孔耐熱無機材料蓄熱體，通過自動時間邏輯切換，讓廢氣與高溫煙氣交替通過分區吸熱輸入、放熱排除。這樣利用高溫煙氣的余熱來預熱待燒廢氣，充分利用熱量，節約能源，獲得非常高效的經濟價值。

直燃式焚燒爐后面接有換熱器，與蓄熱焚燒爐蓄熱式功用類似，都是為了能充分利用余熱，節約能源。從造價成本上看，直燃式焚燒爐造價比蓄熱式爐便宜。從實用成本上看，直燃式焚燒爐適用于能夠自持燃燒的廢氣，由于廢氣中的VOC濃度含量較高，燃燒釋放的熱量足以維持焚燒爐爐內溫度，或者僅須補充少量輔助燃料即可維持爐內溫度。由于蓄熱室對高溫煙氣余熱的回收更為有效，故蓄熱式焚燒爐實用范圍更為廣泛。必要時可以配合沸石轉輪，將低濃度廢氣濃縮后，再送入蓄熱焚燒爐燃燒處理。在實際選用中，須根據待處理廢氣量、濃度、性質、場地情況、工藝情況等綜合考量。